1

磁控溅射类金刚石涂层制备系统及关键工艺开发

2022/03-2023/12

530

2

物理气相沉积镀膜技术及国际标准研制

2023/08-2026/12

500

3

发电设备先进涂层制备与评估技术研究

2023/06-2025/12

417

4

双极板涂层工件转架设计及膜厚均匀性研究

2022/02-2022/06

369

5

纳米压痕集成技术开发及金属陶瓷涂层示范应用

2025/08-2030/08

300

6

高致密度超薄金属化薄膜关键技术开发与应用验证

2025/07-2026/12

120

7

高质量纳米功能薄膜的原子层沉积技术开发

2023/05-2026/07

100

8

极端环境电机材料和涂层关键工艺开发

2025/06-2029/03

100

9

高韧渗碳钢齿轮承载性能研究

2023/06-2025/12

100

10

Ion source enhanced AlCrSiN coating with gradient Si content and gradient grain size

2021/12-2023/12

100